為了提高厚膜電路的精度,必須進(jìn)行阻值調整。由于厚膜絲網(wǎng)印刷操作固有的不準確性,基板表面的不均勻及燒結條件的不重復性,厚膜電阻常出現正負誤差,如果阻值超過(guò)標稱(chēng)值將無(wú)法修正,但是,一般情況下印刷燒成后阻值低于目標值的大約30%,所以要通過(guò)激光調整達到目標值。
激光調阻系統及修調技術(shù)機理
激光修調是把一束聚焦的相干光在微機的控制下定位到工件上,使工件待調部分的膜層氣化切除以達到規定參數或阻值。調阻時(shí)局部溫升使玻璃熔化,氣化部分阻值槽邊緣受到玻璃覆蓋,可填平基體表面被切割的介質(zhì)。先進(jìn)的激光修調系統應用了大量的LSI、VLSI電路,以大部分的軟件操作代替許多硬件功能。核心部分是通過(guò)硬件直接與激光器、光束定位、分步重復及測量等系統相連接。測量系統由電橋和矩陣組合的無(wú)源網(wǎng)絡(luò )組成。先進(jìn)的激光修調系統具有多種修調功能,可以修調混合集成電路、厚薄膜電阻器網(wǎng)絡(luò )、電容網(wǎng)絡(luò )、瓷基薄膜集成元件,還可以修調D/A和A/D轉換器的精度,V/F轉換器的頻率,有源濾波器的零點(diǎn)頻率及運算放大器的失調電壓等。
先進(jìn)的激光修調系統主要包括以下幾個(gè)部分:
?。?) 激光器部分
采用端泵激光器,出光更精細,效果更好。
?。?) 光束定位系統
采用振鏡式高速線(xiàn)性馬達,提高定位速度和精度。
?。?) 視頻監視系統
采用光學(xué)反射系統以及高清攝像系統,融合光束和攝像為同軸,視頻跟隨光斑移動(dòng),便于激光定位和監視。
?。?) 修調設定器
它直接與激光器、光束定位器、分步重復臺及測量系統相聯(lián)接。它可以通過(guò)程序改變刻蝕尺寸,改變切割的修調方向,決定阻值變化,而不影響精度。另外,還具有自動(dòng)校正功能,在長(cháng)期工作時(shí)可使修調設定值保持穩定。
?。?) 阻值及電壓測定裝置
采用電橋和矩陣組合的測試無(wú)源網(wǎng)絡(luò ),阻值測量精度可達0.1%,測量時(shí)間僅為5ms。這種設計可以防止外界干擾,且由于采用差動(dòng)測量,自動(dòng)消除偏離及極性轉換,還可用來(lái)測定有源電路修調時(shí)的直流電壓。
修刻方式主要有以下幾種:
?。?)單刀切割電阻法
?。?)雙刀切割電阻法
?。?)L型刀口切割電阻法
?。?)交叉對切電阻法
?。?)曲線(xiàn)型L刀口的切法
?。?)曲線(xiàn)型U型刀口的切法
在實(shí)際工作中,主要應用的是前4種,對于不同的電阻應根據其方數的不同選擇不同的刀口。其中雙切和L型刀口最為常用,而且調過(guò)的阻值穩定性好。
關(guān)鍵詞:開(kāi)放式激光調阻機